A method is presented for determining interdiffusion coefficients from the kinetics of isothermal vapor phase epitaxial growth of mercury cadmium telluride (Hgl -,Cd,Te). After an initial transient, growth is interdiffusion limited. Interdiffusion coefficients in the composition range 2 = 0.1 to 0.7 and a temperature range of 450 to 700 "C are determined using a simple geometric analysis of the composition profiles obtained in this interdiffusion limited regime. The technique offers advantages in simplicity and added control over the defect nature of the material during the interdiffusion process. The interdiffusion coefficients for the composition and temperature range studied are represented by the following equation: D,(cm2/s) = 300 exp (-7.532) exp (-1.92 eV/kT). Comparison with other studies shows good agreement. E s wird eine Methode zur Bestimmung der Interdiffusionskoeffizienten aus der Kinetik des isothermen gasphasen-epitaktischen Wachstums von Quecksilber-Kadmiumtellurid (Hgl -&d,Te) angegeben. Nach einer Anlaufphase ist das Wachstum diffusionslimitiert. Diffusionskoeffizienten im Zusammensetzungsbereich z = 0,l bis 0,7 und einem Temperaturbereich von 450 bis 700 "C werden mittels einfacher geometrischer Analyse der in diesem interdiffusionsbegrenzten Regime erhaltenen Verbindungsprofile bestimmt. Die Technik besticht durch ihre Einfachheit und um-faSt zugleich eine Kontrolle iiber die Defektart des Materials wiihrend des Interdiffusionsprozesses. Die Interdiffusionskoeffizienten im untersuchten Zusammensetzungs-und Temperaturbereich lassen sich durch die Gleichung D,(cm2/s) = 300 exp( -7,532) exp (-1,92 eV/kT) darstellen. Ein Vergleich mit anderen Untersuchungen zeigt gute Ubereinstimmung. Stanford, CA 94305, USA.