A numerical simulation of EL2 level transition to its metastable state in semi-insulating (si) GaAs is performed solving the system of equations describing the charge transfer between EL2 and two other levels, namely a donor and an acceptor. The metastable EL2* state is involved as electrically and optically inactive. The time dependence of the changes of photoconductivity, Hall mobility, and also of electron population in EL2, donor, and acceptor levels is obtained for a different initial compensation ratio of si GaAs samples. It is shown that the photoquenching process consisting of up to three exponential parts is ruled by the state changes of one EL2 level and is very sensitive to the defect concentrations involved.Eine numerische Simulation des uberganges vom EL2-Niveau in seinen metastabilen Zustand im halbisolierenden (si) GaAs wird durch die Losung eines Gleichungssystems, das den Ladungstransfer zwischen EL2 und zwei zusatzlichen Niveaus, einem Donator und einem Akzeptorniveau beschreibt, durchgefiihrt. Der metastabile Zustand EL2* wird als elektrisch und optisch inaktiv betrachtet. Die Zeitabhangigkeit der Photoleitfahigkeit, der Hall-Beweglichkeit sowie der Elektronenbesetzung der EL2-, Donator-und Akzeptorniveaus wird fur verschiedene Kompensationsverhaltnisse des si GaAs erhalten. Es wird gezeigt, daB der Photoloschungsprozel, der aus bis zu drei exponentiellen Anteilen besteht, durch die Zustandsanderungen des EL2-Niveaus bestimmt wird und sehr empfindlich auf die Defektkonzentration reagiert.