2013 International Conference on Simulation of Semiconductor Processes and Devices (SISPAD) 2013
DOI: 10.1109/sispad.2013.6650635
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Influence of the back-gate bias on the electron mobility of trigate MOSFETs

Abstract: The influence of the back-gate bias on the threshold voltage and on the electron mobility of silicon trigate devices over ultra-thin-box is studied. The analysis confirms the possibility of achieving body factors higher than γ=0.1 as long as the channel width over height ratio is increased as much as possible. Also, the strong impact of the back-gate bias on the electron mobility is demonstrated using state-of-the-art scattering models for 2D confined devices.

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“…Fonte: Autor A Figura 53 apresenta a µeff extraída pelo método de Split-CV sob diversas polarizações de substrato. Com foi observado em (RUIZ, et al, 2013), a mobilidade efetiva varia com VBS em transistores de porta tripla devido a mudança da posição de inversão do canal ao longo do filme de silício. É possível observar que há uma redução da mobilidade com a redução de VBS.…”
Section: Medidas Experimentais DC Considerando Tensões Aplicadas Ao S...unclassified
“…Fonte: Autor A Figura 53 apresenta a µeff extraída pelo método de Split-CV sob diversas polarizações de substrato. Com foi observado em (RUIZ, et al, 2013), a mobilidade efetiva varia com VBS em transistores de porta tripla devido a mudança da posição de inversão do canal ao longo do filme de silício. É possível observar que há uma redução da mobilidade com a redução de VBS.…”
Section: Medidas Experimentais DC Considerando Tensões Aplicadas Ao S...unclassified
“…A redução no confinamento de cargas na primeira interface, que ficam mais difundidas no semicondutor, também leva à redução no espalhamento fônon (RUIZ et al, 2013). Assim, é possível afirmar que a variação da mobilidade com a polarização do substrato tem origem essencialmente na redistribuição espacial das cargas de inversão na região de canal e nas interfaces.…”
Section: Efeitos Quânticosunclassified