Encyclopedia of Plasma Technology 2016
DOI: 10.1081/e-eplt-120053966
|View full text |Cite
|
Sign up to set email alerts
|

Inductively Coupled Plasma Sputtering: Structure of IV-VI Semiconductors

Help me understand this report

Search citation statements

Order By: Relevance

Paper Sections

Select...
2
1

Citation Types

0
13
0
7

Year Published

2020
2020
2023
2023

Publication Types

Select...
5

Relationship

0
5

Authors

Journals

citations
Cited by 8 publications
(20 citation statements)
references
References 70 publications
0
13
0
7
Order By: Relevance
“…На даний момент зусилля багатьох науковців спрямовані на розробку нових матеріалів та пристроїв із застосуванням нанотехнологій [1,2]. Останнє пред'являє вимоги до розвитку та вдосконалення методів дослідження наноструктур і нанооб'єктів, які повинні дозволити отримувати достовірні кількісні їх характеристики.…”
Section: вступunclassified
See 3 more Smart Citations
“…На даний момент зусилля багатьох науковців спрямовані на розробку нових матеріалів та пристроїв із застосуванням нанотехнологій [1,2]. Останнє пред'являє вимоги до розвитку та вдосконалення методів дослідження наноструктур і нанооб'єктів, які повинні дозволити отримувати достовірні кількісні їх характеристики.…”
Section: вступunclassified
“…Робочі характеристики цих приладових структур визначаються морфологічними особливостями та топологією конденсатів [2,8]. Легування PbTe гетеровалентними домішками п'ятої групи (Sb, Bi) зумовлює модифікацію електронної і фононної підсистем кристала, що веде до покращення термоелектричних властивостей [9].…”
Section: вступunclassified
See 2 more Smart Citations
“…Several methods have been used to modify the physical properties of In 2 S 3 thin films, such as adding impurity elements in the material [8,9], post-deposition annealing [10][11][12][13], treating with gas plasma [14] and swift heavy ion or gamma irradiations [15,16]. It is known that plasma treatment of binary metal chalcogenides and complex compounds based on them in argon plasma leads to new phenomena associated with nanostructuring of the surface [17]. This is due to the presence of volatile chalcogen and of low melting point metals that enhance the effect of nanostructure formation.…”
Section: Introductionmentioning
confidence: 99%