Herstellung dünner Schichten von Titandioxid

Abstract

In Abhängigkeit von der Substrattemperatur und der Schichtdicke wird die Hochvakuumaufdampfung von TiO2 auf luft‐ und vakuumgespaltenen NaF‐, NaCl‐ und NaBr‐ Substraten untersucht. Bei geringen Substrattemperaturen scheidet sich amorphes TiO2 ab, bei höheren Temperaturen treten zwei Ti  O‐Phasen, Rutil und Ti4O7, nebeneinander auf.