“…Diese transparenten, leitenden Oxide können mit einer Vielzahl unterschiedlicher Verfahren hergestellt werden, hierzu gehören das Aufsprühen der Schichten (Spray Pyrolysis) [17][18][19][20][21][22], die Sol Gel Technologie [23][24][25][26][27][28][29], elektrolytische Abscheideverfahren [30,31], Aufdampfverfahren [32,33], Magnetron Gleichstrom Kathodenzerstäubung (Direct Current DC Sputtern, [34][35][36][37][38]), Magnetron Hochfrequenz Kathodenzerstäubung (Radio Frequency (RF) Sputtern, [39][40][41][42]) sowie die Kombination beider Sputterverfahren [43][44][45][46][47][48][49][50][51][52][53][54][55][56][57][58][59][60]. Weit preisgünstiger jedoch ist die Herstellung von aluminiumdotierten Zinkoxidschichten (ZnO:Al).…”