Estimate of the Nonlinearity of the Self-Oscillating Accelerometer With the Pendulum Sensitive Element

Abstract

Исследуется конструкция автоколебательного акселерометра, в котором инерционная масса, являющаяся чувствительным элементом, выполнена в виде маятника. Предлагается вариант реализации такого датчика с использованием микромеханической технологии. Проводится сравнение нелинейности характеристики преобразования представленной схемы с аналогичным датчиком, в котором используется линейный чувствительный элемент. Исследование проводится с помощью численного расчета и компьютерного моделирования характеристики преобразования датчиков на основе уравнения движения чувствительного элемента. По результатам моделирования определяется нелинейность, как в границах устойчивой работы датчика, так и в рабочем диапазоне измерений. Несмотря на увеличение нелинейности в полном диапазоне измерений, в рабочем диапазоне существенных различий в характеристике преобразования для автоколебательного датчика с линейным и с маятниковым чувствительным элементом не наблюдалось.