Bei einem Vakuum vonTorr wurde Germanium aiif luftgespaltene und vakuumgespaltene NaC1-und NaF-Substrate aufgedampft. In Abhangigkeit von der Substrattemperatur (280-500 " C ) , der Aufdampfgeschwindigkeit (1 -35 A s-l) und der aufgedampften Schichtdicke (100-1500 A) wurde die Struktur der Germaniumabscheidungen untersucht. Hierbei interessierten der Ubergang amorph/kristallin, die Zahl und Grofie der Kristallite, ihre Orientierung und Anordnung auf der Substratoberflache sowie der prozentuale Anteil der mit Germaniumkristalliten bedeckten Substratoberflache. Die Untersuchungen erfolgten mit einem Elektronenmikroskop durch Abbildung und Beugung.The structure of the Ge-deposits was revealedm in dependence on substrate temperature (280-500 "C), evaporation rate 1-35 A s-l and average thickness of the film (100-1500 if). A survey of the transition amorphous/crystallirie, number and diameter of crystals, their orientation and arrangement on tho surface and the degree of covered area proved t o be of special importance. The samples were examined by means of the electron microscope.