Effect of the bias voltage on the structural and tribo-mechanical properties of Ag-containing amorphous carbon films

Tillmann, Wolfgang; Dias, Nelson Filipe Lopes; Stangier, Dominic; Nienhaus, Alexander; Thomann, Carl-Arne; Wittrock, Adrian; Moldenhauer, Henning; Debus, J.

doi:10.1016/j.diamond.2020.107803

Cited by 21 publications

(2 citation statements)

References 40 publications

Supporting

Mentioning

Contrasting

Unclassified

Order By: Relevance

“…The hardness and elastic modulus of MAC were experimentally reported to be proportional to the fraction of sp 3 orbitals, and it was proved by MD simulation (Figures 5c). [15,86] Since metalloid or metal doping (Si, [58,63] B 4 C, [54] Ag, [87,88] Cu, [87] Ti [59,60] ) in the a-C thin film significantly increased the hardness, the depth of indentation after the friction scratch test was much less in the Ti (9.75%)-doped a-C thin film. However, surface cracks and wear scars were prominent because the enhanced hardness lost the plasticity of the pristine a-C thin film.…”

Section: Properties Of the A-c Thin Filmsmentioning

confidence: 99%

Amorphous Carbon Films for Electronic Applications

et al. 2022

View full text Add to dashboard Cite

While various crystalline carbon allotropes, including graphene, have been actively investigated, amorphous carbon (a‐C) thin films have received relatively little attention. The a‐C is a disordered form of carbon bonding with a broad range of the CC bond length and bond angle. Although accurate structural analysis and theoretical approaches are still insufficient, reproducible structure–property relationships have been accumulated. As the a‐C thin film is now adapted as a hardmask in the semiconductor industry and new properties are reported continuously, expectations are growing that it can be practically used as active materials beyond as a simple sacrificial layer. In this perspective review article, after a brief introduction to the synthesis and properties of the a‐C thin films, their potential practical applications are proposed, including hardmasks, extreme ultraviolet (EUV) pellicles, diffusion barriers, deformable electrodes and interconnects, sensors, active layers, electrodes for energy, micro‐supercapacitors, batteries, nanogenerators, electromagnetic interference (EMI) shielding, and nanomembranes. The article ends with a discussion on the technological challenges in a‐C thin films.

show abstract

Section: Properties Of the A-c Thin Filmsmentioning

confidence: 99%

Amorphous Carbon Films for Electronic Applications

et al. 2022

View full text Add to dashboard Cite

show abstract

“…Для того, чтобы установить, каким образом включения серебра оказывает влияние на соотношение sp 2и sp 3 -гибридизованных атомов углерода, были проанализированы спектры характеристических потерь энергии электронов. Согласно общепринятому описанию, встраивание серебра в углеродную структуру сопровождается обрывом углерод-углеродных связей, приводящим к перестройке sp 3 -гибридизованного углерода в sp 2 -гибридизацию [36]. По-видимому, результаты работы [10], показавшие, что взаимодействие серебра и углерода приводит к формированию не гексагональных графитовых кластеров, а цепочечных sp 2 -структур, свидетельствуют о том, что графитизация, вызванная воздействием серебра, в исследуемом случае в достаточной степени локализована.…”

Section: схпээunclassified

Унимодальное и бимодальное распределение серебряных наночастиц в a-C : Ag-структурах с различным соотношением sp-=SUP=-2-=/SUP=-/sp-=SUP=-3-=/SUP=--углерода, изготовленных методом низкоэнергетического ионно-ассистированного импульсно-плазменного осаждения

Завидовский¹,

Хайдаров²,

Стрелецкий³

2022

Физика Твердого Тела

View full text Add to dashboard Cite

Представлены результаты исследования аморфных углеродных покрытий с инкапсулированными серебряными наночастицами (a-C : Ag). Методом просвечивающей электронной микроскопии показано, что введение низкоэнергетического (100-300 eV) ионного ассистирования в процесс импульсно-плазменного осаждения может в различных случаях привести как к унимодальному, так и к бимодальному распределению серебряных включений по размерам. Установлено, что характер распределения определяется мощностью импульсно-плазменного источника. Рассмотрено влияние вариации потока осаждающихся частиц на процесс ионно-индуцированной поверхностной диффузии на поверхности покрытий. Показано, что данный процесс в совокупности с ионно-индуцированным формированием центров зародышеобразования оказывает влияние на характер распределения серебряных включений по размерам. С помощью спектроскопии характеристических потерь энергии электронов установлено, что изменение поверхностной концентрации серебряных наночастиц коррелирует с соотношением sp2- и sp3-гибридизованных атомов углерода. Ключевые слова:импульсно-плазменное напыление; ионная стимуляция; углерод-серебряный композит; бимодальное распределение частиц; соотношение sp2- и sp3-гибридизованного углерода.

show abstract

Comparative study on the structural make-up and mechanical behavior of silicon and silver doped amorphous carbon films

Patnaik

Maity

Kumar

2022

Silicon

View full text Add to dashboard Cite

Effect of the bias voltage on the structural and tribo-mechanical properties of Ag-containing amorphous carbon films

Cited by 21 publications

References 40 publications

Amorphous Carbon Films for Electronic Applications

Amorphous Carbon Films for Electronic Applications

Comparative study on the structural make-up and mechanical behavior of silicon and silver doped amorphous carbon films

Contact Info

Product

Resources

About