Dual-wavelength Digital Holography Microscope for BGA Measurement Using Partial Coherence Sources

Abstract

Dual-wavelength holography has a better axial range than single-wavelength holography, allowing unambiguous phase imaging. Partial coherence sources reduce coherent noise, resulting in improved reconstructed images. We measured a ball-grid array using dual-wavelength holography with partial coherence sources. This holography method is useful for measurement samples that exhibit coherence noise and have a step height larger than the single wavelength used in holography.

A Study on Two-wavelength Digital Holography Using the Fresnel-Bluestein Transform

“…이러한 디지털 홀로그램의 장점에도 불구하고 간섭을 이용 한 측정이기 때문에 파장보다 큰 단차가 있는 경우에는 3차 원 측정이 어렵다. 이러한 단차 문제를 해결하기 위하여 2 파 장을 이용한 홀로그래픽 방법이 제시 되었다 [7][8][9] . 즉 다른 파 장을 이용하여 원래 사용한 파장보다 큰 유사파장에 의한 위 [10,11] .…”

Sub-Nanoliter Volume Measurement by Using a Digital Holographic Microscope

“…[11,12]. 레이저 빛의 공간 가간섭성을 작게하는 방법이 있다 [20,21]. 본 연구에서는 레이저 빛의 공간 가간섭성을 작게하기 위하여 RGG (rotaing ground glass) 를 사용하였다.…”

“…본 연구에서는 레이저 빛의 공간 가간섭성을 작게하기 위하여 RGG (rotaing ground glass) 를 사용하였다. RGG 의 표면은 렌즈 1과 렌즈 2의 공 초점면에 위치한다 [20,21]. Fig.…”

Determining Two-Sided Surface Profiles of Micro-Optical Elements Using a Dual-Wavelength Digital Holographic Microscope With Liquids

“…In this paper we propose a method for simultaneously measuring the front and back surface profiles of transparent micro-optical components, using a dual-wavelength DHM [13][14][15][16][17] and liquids. We also propose a theoretical model for determining the surface information, and experimentally demonstrate the use of this model for an achromatic lens.…”