“…Последние двухлучевые системы наиболее предпочтительны, поскольку в таких приборах реализовано два основных преимущества, позволяющих получать наилучшее качество ПЭМ образцов: возможность наблюдения степени прозрачности ламели во вторичных электронах в режиме реального времени (путем сканирования ламели электронным пучком в направлении, перпендикулярном направлению утонения) в процессе окончательной ионной полировки, а также возможность проведения осаждения защитных слоев с использованием только электронного пучка, что минимизирует энергию атомов осаждаемого вещества после взаимодействия молекул газового прекурсора с электронами пучка. В последнее время техника изготов-ления образцов с использованием двухлучевых систем была настолько усовершенствована, что был разработан метод вырезки тонкой ПЭМ ламели не только в традиционном поперечном направлении, но и параллельно поверхности [8,9], в том числе для изучения минералов, например, редких метеоритов с Марса [10]. Активно применяется методика вырезки ламелей для ПЭМ исследований биологических объектов в замороженном состоянии [11].…”