Distributions énergétique et angulaire de l'émission ionique secondaire. II. Nature et distribution énergétique des ions secondaires

Abstract

Cet article constitue la deuxième partie d'une étude expérimentale de l'émission ionique secondaire qui résulte du bombardement d'un échantillon métallique par des ions de gaz rares d'une énergie de quelques kiloélectron-volts. Après une revue des différents résultats portant sur la nature des ions secondaires, nous présentons nos propres mesures de la distribution énergétique et de l'énergie moyenne des ions émis par plusieurs métaux (Mg, Al, Si, Ti, Fe, Ni, Cu) à différents angles d'éjection et de bombardement, et pour diverses énergies des ions primaires

Évolution des rendements de l'émission ionique des alliages avec la nature du soluté - Première partie : Résultats expérimentaux

“…D'après Hennequin [12] K(Ti+) = 1,6 x 10-3 et en prenant la valeur pcuTi(Ti) = 27, on trouve que le rendement KcuTi(Ti') -4,3 x 10-23. En ce qui concerne l'émission du chrome pur, on peut estimer queA;(Cr+) -1,5 K(Cu+) [3] soit K(Cr') -9 x 10-4 en prenant K(Cu+) -6 x 10-4 [12]. On obtient alors Kic,(Cr+) -4,1 x 10-2 (*).…”

“…Mais nous avons pris soin de vérifier que ce n'était pas le cas en enregistrant, d'une part, le spectre complet des ions secondaires émis par l'alliage et, d'autre part en introduisant intentionnellement de l'oxygène et en vérifiant que la densité de bombardement était suffisante pour éviter de tels effets. Il (' ) Ces valeurs numériques correspondent à une incidence normale de bombardement [12]. ne semble pas que ces précautions aient toujours été prises car les résultats donnés par divers auteurs peuvent diverger fortement des nôtres.…”

Processus de formation d'ions à partir d'atomes éjectés dans des états électroniques surexcités lors du bombardement ionique des métaux de transition

“…Les valeurs relatives des rendements en ions d'une énergie donnée (13) sont comparables aux valeurs calculées de P(A,,,) car la distribution énergétique des ions est sensiblement la même pour tous les éléments de la série [37]. On peut donc supposer que le nombre Nd(E) de particules éjectées avec un trou d à une énergie E est le même pour tous les éléments.…”

“…Le rendement erratique du cuivre est évalué Serr = 1, 2 atomes [36] (pour des ions incidents ion d'énergie 8,2 keV), en accord raisonnable avec la valeur calculée [7], et le rendement ionique pour l'ensemble des particules d'énergie supérieure à 30 eV est 4,5 X 10-4 ions secondaires [11,37].…”

Distributions énergétique et angulaire de l'émission ionique secondaire. III. Distribution angulaire et rendements ioniques

“…-Nous présentons ici la troisi6me partie d'une etude exp6rimentale des distributions 6nerg6tique et angulaire des ions secondaires qui sont 6mis lors de la pulverisation d'un echantillon, g6n6ralement m6tallique, par des ions primaires d'une 6nergie de quelques kiloélectron-volts. La premiere partie de ce m6moire [1] comporte la description de 1'appareil utilise et sa mise au point; dans la deuxi6me partie [2], nous avons decrit nos propres mesures concernant la distribution 6nerg6tique des ions m6talliques 6mis par les métaux purs bombard6s par des ions de gaz rares. Nous nous proposons maintenant d'etudier, dans les memes conditions expérimentales, la distribution angulaire de 1'emission ainsi que la valeur du rendement ionique d'un metal, c'est-a-dire le nombre d'ions secondaires d'un type determine qui sont en moyenne 6mis par ion incident.…”