Die Neutralgastemperatur in der Argon‐Mitteldruckentladung

Abstract

In der schwachionisierten Mitteldrucksaule in Argon wurden im Bereich R p < 150 cm Torr und i/R < 2 Acm-1 Messungen der Neutralgastempratur mittels feiner Thermoelemente vorgenommen. Die erhaltenen Werte wurden durch Bestimmung der mittleren Gastemperetur aus indirekten Druckmessungen kontrolliert. Es d e n Neutralgastemperaturen in Rohrmitte gefunden, die sich befriedigend mit einfachen Folgerungen aus der Wiirmebilanz der Entladungsskule in Einklang bringen lassen. EinlcitungBei der quantitativen Beschreibung der schwachionisierten Mitteldruckentladung spielt die Neutralgastemperatur T eine wichtige Rolle. Sie legt in Verbindung mit dem Gasdruck die lokale Gasdichte fest und ist daher mitbestimmend fur die radial variierenden GroBen der Ionisations-und Transportprozesse in der Entladungssaule.Messungen der Neutralgastemperatur in der Edelgas-Mitteldrucksaule liegen bisher nur in ungenugendem MaBe vor [i,

Über Messungen mit Thermoelementen an Mitteldruckentladungen

“…In Weiterfuhrung fruherer Untersuchungen der Gastemperatur in Rohrmitte [4] wurden in der kontrahierten Entladungssiiule in Argon bei mittleren Drucken u. a. Messungen mit radial verschiebbarem Thermoelement angestellt. Abb.…”

Gasaufheizung und Energiebilanz einer stationären hochfrequenten Ringentladung in Edelgasen

“…Die Gasaufheizungsleistung wird aus dem beim Abschalten der Entladung auftretenden zeitlichen Druckverlauf des sich in einem abgeschlossenen EntladungsgefaB befindlichen Neutralgases ermittelt [7, 81. Gegeniiber alteren MeBverfahren, die diese Warmeleistung aus dem stationiren Druckanstieg [2,3, 91 oder aus der Temperatur ,des aufgeheizten Gases [5] bestimmen, besitzt das hier benutzte Verfahren den Vorteil, daB die ortliche Verteilung der Warmequellen im Neutralgas nicht bekannt zu sein braucht.l) Zusammen mit den Leistungsmessungen wurden die Trlgerdichte und die kinetische Temperatur bzw. die Energieverteilung der Elektronen, die fur die Interpretation der Leistungsmessungen yon Interesse sind, mit €€ilfe von LAXGMUIR-SOnden bestimmt .…”