Detailed near-surface nanoscale damage precursor measurement and characterization of fused silica optics assisted by ion beam etching

Study on Damage Characteristics of Fused Silica under Ion Beam Sputtering and AMP Technique

“…For sample 7# with relatively high damage density, we believe that it is not only related to high-density "fragment" defects, but also to SiF 6 compounds produced in AMP process. is product had been proved to affect the damage threshold of fused silica optics under high-power laser irradiation in relevant studies [22,23], and this part will also be studied further.…”

Исследование Поверхностного Слоя, Образующегося При Обработке Кварцевого Стекла С Помощью Механохимического И Ионного Полирования

“…К примеру, в работе [26] рассмотрена детальная модель структуры поверхности полированного бинарного стекла состава Na 2 O-SiO 2 , учитывающая микротрещины, слой силикагеля, выщелоченный слой и ионообменный слой. В работе [38] представлена модель структурноморфологического строения поверхности МХП кварцевого стекла, состоящая из трещиноватого слоя (полировочный, модифицированный слой или слой Бейлби), дефектного слоя, включающего: кислородные вакансии (ODC), немостиковые кислородные дефекты (NBOHC), кислород которых не включен в сетку связей в стекле, и нано-размерными частицами повышенной плотности неизвестной природы (рис. при изучении параметров ПС полированных стекол методами эллипсометрии.…”

“…Свойства поверхностного слоя кварцевого стекла, модифицированного в результате механoхимической полировки (МХП) [18][19][20][21][22][23][24][25][26], могут быть улучшены с помощью последующей полировки/бомбардировки ионным пучком (БИП) [27][28][29][30][31][32][33][34][35]. В результате повышается УФ светопропускание, отражение в ИК области и заметно возрастает лучевая прочность [36][37][38]. Часть результатов этих исследований, касающихся свойств поверхностного слоя, представлена в обзорных статьях [26][27][28]33], где рассмотрены разные структурные и методические факторы (примеси, локальные дефекты структуры, методы приготовления образца и его полировки, плоскостность и рельеф поверхности).…”

“…Изучение физико-химических факторов, приводящих к отклонению оптических свойств, для разных способов обработки поверхности деталей из кварцевого стекла актуально для снижения влияния вышеуказанных факторов на коэффициенты УФ светопропускания и ИК отражения [16,[32][33][34][35][36][37][38]. Изучение причин, вызывающих различия в измеряемых УФ и ИК спектрах, позволит выработать пути для оптимизации технологии процесса обработки стекла и сформировать более корректную модель полированной поверхности.…”

“…Поскольку адсорбированные пленки воды на границе с обработанным оптическим материалом (например, стекло) формируют систему слоев: внешняя среда−адсорбированный слой молекул−поверхностный модифицированный слой−подложка (стекло), то эту схему следует учитывать при изучении характеристик поверхности разными физическими методами. При традиционном МХП [16, [24][25][26][27][28] и БИП [29][30][31][32][33][34][35][36][37][38][39] способах обработки стекла в зависимости от физико-химических условий формирования поверхности и свойств материала модифицированный поверхностный слой (ПС) стекла и адсорбированные слои могут вносить заметный вклад в результаты измерений объемных свойств материала.…”