2005
DOI: 10.1016/j.optcom.2004.12.016
|View full text |Cite
|
Sign up to set email alerts
|

Comparison of effective medium approximation and Rayleigh–Rice theory concerning ellipsometric characterization of rough surfaces

Help me understand this report

Search citation statements

Order By: Relevance

Paper Sections

Select...
1
1
1
1

Citation Types

0
51
0
2

Year Published

2008
2008
2017
2017

Publication Types

Select...
7
1

Relationship

2
6

Authors

Journals

citations
Cited by 84 publications
(53 citation statements)
references
References 26 publications
0
51
0
2
Order By: Relevance
“…In particular, S m is similar in nature to the autocorrelation length that traditionally characterizes the linear dimension of irregularities of rough surface, see e.g., § 6 in [9]. The formulas of reflectance coefficients for mirrors with rough surfaces requires such data [9,10], but for us S m itself is of primary importance.…”
Section: Details Of Simulationmentioning
confidence: 89%
“…In particular, S m is similar in nature to the autocorrelation length that traditionally characterizes the linear dimension of irregularities of rough surface, see e.g., § 6 in [9]. The formulas of reflectance coefficients for mirrors with rough surfaces requires such data [9,10], but for us S m itself is of primary importance.…”
Section: Details Of Simulationmentioning
confidence: 89%
“…If ε 2R >ε 1R , we can exchange the roles of ε 1R and ε 2R by taking the proper spectral density function as mentioned before, so we have |t R |>1. Assuming that |t R -u|>>|t I |, for all the integration range in (6) and (7) (u  [0,1]), the real and imaginary part of the effective dielectric function can be expressed as: (10) with:…”
Section: Theorymentioning
confidence: 99%
“…In order to calculate the optical properties of gradient refractive index and hybrid coatings, it is necessary to know the dependence of optical constants with mixture composition. The most common approach to account for this dependence is the use of the so-called effective medium theories (EMTs), which calculate the optical constants of a mixture in terms of the optical constants of the mixing materials and their volume fractions [9,10]. These theories have been widely used to compute the compositional dependence of the refractive index for different composites [11,12].…”
Section: Introductionmentioning
confidence: 99%
“…Fontos megjegyezni, hogy a rögzített 50%-os aránnyal a modell akkor ad a valóságot jól közelítı felületi érdesség értékeket (rétegvastagságokat), amennyiben a felületi topográfiát a magas frekvenciájú komponensek határozzák meg. Praktikusan ezt teljesíti a felület ha az azon található struktúrák laterális mérete a ~20 nm mérettatományt nem haladják meg [152]. A HR-SEM felvételek alapján ez igaznak mondható az ArF-PLD-vel elıállított rétegek, valamint az alacsony nyomásokon KrF-PLD-vel leválasztott mintákra.…”
Section: A) Tauc-lorentz/sellmeier Modell Eredményeiunclassified
“…A 4.6. fejezetben leírtaknak megfelelıen a SEI képek alkalmasak ugyan a felület morfológiájának megfelelı kontrasztviszonyokat megjeleníteni, de a képek szürkeskálája ilyen összetett felszín esetén nem feleltethetı meg magasságinformációknak. Az ellipszometriai modellezések során használt egyszerő felületi EMA modell pedig az irodalomban fellelhetı korlátokkal bír [152]. Esetünkben ez praktikusan azt jelenti, hogy a nagyobb struktúrák által okozott felületi érdesség modellezésekor a valóságosnál nagyobb felületi érdességet adhat az egyszerő felületi EMA közelítés.…”
Section: Szén Alapú Pld Rétegek Elıállítása Ar Háttérgázbanunclassified