Caracterização Elipsométrica De Nióbio Metálico

Abstract

ResumoO presente trabalho tem como objetivo promover, através da técnica de elipsometria, a caracterização de propriedades ópticas e dielétricas do nióbio metálico e, além disto, medir a espessura dos filmes finos de óxido de nióbio formados. Devido a grande variedade de aplicações em importantes setores, o nióbio se tornou um elemento de grande importância para o desenvolvimento tecnológico em áreas estratégicas e o Brasil destaca-se neste contexto por deter as maiores reservas mundiais. Logo, conhecer o máximo de informações sobre este material é de grande importância para direcionar estudos às aplicações tecnológicas a fim de se agregar valor ao nióbio e seus compostos. Após a realização das medidas de parâmetros elipsométricos, e modelagem apropriadas, foram geradas satisfatoriamente as propriedades ópticas e dielétricas do material. Sendo também medida a espessura do óxido formado de forma natural sobre o substrato de nióbio metálico. Palavras-chave: Nióbio; Óxido de nióbio; Elipsometria. ELLIPSOMETRIC CHARACTERIZATION OF METALLIC NIOBIUM AbstractThis study aims to promote, through the ellipsometry technique, the characterization of metallic niobium optical and dielectric properties and, in addition, to measure the formed thin niobium oxide films thickness. Due to the wide variety of applications in important sectors, niobium has become an element of great significance to the technological development in strategic areas and Brazil stands out in this context by detaining the largest reserves. Therefore, to know as much information as possible about this material is of great importance to direct researches to technological applications in order to add value to the niobium and its compounds. After the achievement of ellipsometry measurements and modelling, it has been satisfactorily generated the optical properties of the material. And also measured the thickness of the naturally formed oxide on niobium metal substrate.

Caracterização Elipsométrica Da Liga Am60

“…A elipsometria consiste em um método de análise de propriedades ópticas de um material. Trata-se de ensaio não destrutivo, que avalia as mudanças no estado de polarização da luz incidente, mudança essa gerada pela reflexão (ou transmissão) na superfície plana da amostra analisada [6][7][8][9]. A equação fundamental da elipsometria, gerada pela mudança na fase e na amplitude da luz incidente provocada pela interação com a amostra pode ser expressada conforme equação 1, onde o parâmetro tan Ψ é a amplitude da razão entre os coeficientes de Fresnel Rp e Rs, e Δ representa a diferença entre as componentes fases p e s da onde eletromagnética [9].…”

“…ρ = Rp Rs = tan Ψ e iΔ , (1) Duas restrições quanto ao uso da elipsometria são observadas: a rugosidade da superfície da amostra que não pode ser grande quando comparada ao comprimento de onda incidente e a captura dos parâmetros elipsométricos deve ser realizada por incidência oblíqua [8]. É preciso na elipsometria, realizar a modelagem dos dados, a fim de avaliar as constantes ópticas, visto que não se trata de uma técnica direta [6][7][8][9]. A análise das medidas dos parâmetros elipsométricos é feita usualmente via construção de modelos matemáticos ópticos e adaptação do modelo computacional utilizado ao espectro medido, usando a comparação entre os valores medidos e os modelados como parâmetro de controle [9,10].…”