Cantilever-Beamed SAW Accelerometers

Estudio de un microacelerómetro realimentado con actuación electrostática y transducción saw

“…Para sensores interrogables a distancia (inalámbricos) algunos ejemplos son: Reindl et al [145] reportan un sensor de temperatura, presión, torque, corriente eléctrica y, además, presenta la teoría y el principio de operación de los transpondedores SAW; Li et al reportan un sensor inalámbrico de presión y temperatura [146]; Schimetta et al describen un sensor de presión inalámbrico con la finalidad de monitorear la presión de los neumáticos en un automóvil [147]; Jungwirth et al reportan un sensor de presión de precisión [148]; la empresa Senseor comercializa un sensor de temperatura interrogable a una distancia máxima de 5 metros [149], entre otros. Por otro lado, las posibles aplicaciones en las que un sensor SAW conectado en una configuración local han sido muy estudiadas: Reeder y Cullen reportan un sensor de presión y temperatura [150]; Bao reporta un sensor de temperatura [151]; Jose et al reportan un detector de hielo basado en SAW [152]; como sensores químicos en los que se mide la presencia de un compuesto por el cambio de masa en una película sensible [153,154,155] y, también, se han utilizado dispositivos SAW para hacer sensores mecánicos como acelerómetros [156,157,158,159,160]; Jose y Varadan et al presentan un prototipo de giroscopio [161,162] y Liu lo retoma y lo modifica para hacerlo sensible en dos ejes en lugar de uno [163]; sólo por mencionar algunos ejemplo. Como se puede observar, la aplicación de la tecnología SAW en la instrumentación ha sido utilizada ampliamente; sin embargo, la combinación de ondas SAW con los sistemas microelectromecánicos (MEMS) podría potenciar la aplicación de las SAW en la instrumentación.…”

Advances in SAW-based gas sensors

“…In recent years there has been growing attention to surface acoustic wave (SAW) devices for the detection of various physical and chemical parameters including temperature [1,2], acceleration [3][4][5][6][7][8], force [9], pressure [10][11][12][13], DC and AC high voltages [14][15][16], electric fields [17], magnetic fields [18], weight percentage in solutions [19], ionic concentration [20], gas flow [21], dew point [22] and gas and vapour concentration [23][24][25][26][27][28][29][30][31][32][33][34][35][36][37][38]. Table 1 gives an idea of the research work done since 1981 on SAW chemical sensors.…”

Tensioned or Flexured SAW Accelerometers

“…A SAW accelerometer was performed for the first time two years ago ( 1 ) . Afterwards an other accelerometer configuration was described and tested (2). The aimed characteristics of both sensors correspond to applications to inertial navigation and guiding systems.…”