Telah dilakukan penelitian tentang analisis keluaran berkas radiasi sinar-X pada pesawat Linear Accelerator (Linac). Analisis ini bertujuan untuk mengetahui keluaran berkas radiasi pada pesawat Linac menunjukkan nilai 1 cGy atau sama dengan 1 MU, yang diperoleh dari analisis ionisasi chamber, suhu, tekanan, efek polaritas, dan rekombinasi ion. Penelitian ini dilakukan menggunakan energi foton sebesar 6 MV dan energi elektron dengan variasi (4, 6, 8, 10, 12, dan 15) MeV. Luas lapangan yang digunakan yaitu 10 cm x 10 cm serta source to surface distance (SSD) 100 cm. Hasil analisis menunjukkan berkas energi foton 6 MV didapatkan nilai keluaran per 1 MU sebesar 1,0046 cGy/MU dengan deviasi 0,46%. Sedangkan pada berkas elektron energi 4 MeV sebesar 1,0112 cGy/MU dengan deviasi 1,12%, energi 6 MeV sebesar 1,0064 cGy/MU dengan deviasi 0,64%, energi 8 MeV sebesar 0,9991 cGy/MU dengan deviasi 0,09%, energi 10 MeV sebesar 0,9987 cGy/MU dengan deviasi 0,13%, energi 12 MeV sebesar 0,9978 dengan deviasi 0,22% dan energi 15 MeV sebesar 1,0013 cGy/MU dengan deviasi 0,13%. Dalam hal ini keluaran berkas radiasi sinar-X pada pesawat Linac (Linear Accelerator) di RSUD Arifin Achmad Provinsi Riau telah sesuai dengan standar TRS 398 IAEA dengan rentang deviasi pengukuran yaitu ±3%.