Durch Reaktion von Chlorsilanen mit Anilin‐Derivaten und durch Umaminierung von Silylaminen wurden Alkoxyaminosilane der Reihen (RO)nMe3–nSiNHC6H4X, n = 0, 1, 2, 3, darunter 22 neue Verbindungen, erhalten. Ihre IR‐ und 1H‐NMR‐Spektren wurden vermessen, die NH‐Aciditäten ermittelt und der Einfluß der variablen Polarisierbarkeitseffekte der (RO)nMe3‐nSi‐Gruppierung auf die Hammettschen Beziehungen von Δv und δ der NH‐Protonen diskutiert.