A Deus, todo poderoso, pela proteção e saúde durante todo o período de estudo. Ao professor Sebastião Gomes dos Santos Filho pela orientação e atenção ao longo de todo o trabalho. Ao Laboratório de Sistemas Integráveis (LSI) pela estrutura, disponibilidade dos equipamentos utilizados no trabalho e aos técnicos pela ajuda durante o trabalho. Ao professor Marcelo Bariatto Andrade Fontes, sem o qual não teria iniciado o mestrado no estudo dos ISFETs. Ao professor João Antônio Martino pelas excelentes aulas nas disciplinas cursadas que foram decisivas para o desenvolvimento do trabalho e pelas ajudas e sugestões durante a qualificação. Ao professor Mario Ricardo Gongora Rubio pela ajuda e atenção prestadas durante a execução deste trabalho. A CAPES pelo apoio financeiro fornecido. Aos meus pais, Roberto e Maria Helena, que me deram apoio durante todo o trabalho e a toda a minha família. À minha namorada Natasha, pelo suporte emocional e inspiração ao longo de todo o mestrado. Aos amigos do LSI e da Fatec-SP pelas dicas e pelo companheirismo. A todos que, direta ou indiretamente, contribuíram com a realização deste trabalho. RESUMO Neste trabalho, foi realizado um estudo da caracterização elétrica dos ISFETs com estrutura Si/SiO 2 /Si 3 N 4 , utilizando pseudoeletrodos de Pt, Ag e Au como alternativas aos eletrodos convencionais para medições de pH. Primeiramente, foram empregados três métodos reportados na literatura (extrapolação linear para obtenção da tensão de limiar, segunda derivada para obtenção da tensão de limiar e corrente de sublimiar, respectivamente) com o objetivo de obter a sensibilidade dos ISFETs (mV/pH) e analisar a confiabilidade dos resultados utilizando eletrodo de referência padrão de Ag/AgCl. Posteriormente, tendo como base o eletrodo de Ag/AgCl, foram estudados os desempenhos de pseudoeletrodos de Pt, Ag e Au nas medidas de pH. Como resultado, observou-se que os pseudoeletrodos de Pt e Ag apresentaram sensibilidades compatíveis com o eletrodo de referência padrão de Ag/AgCl (~50mV/pH) para pH ácido na faixa de 1 a 3. Já o pseudoeletrodo de Au, manteve um comportamento aproximadamente linear ao longo de toda a faixa de pH estudada (1 a 10), porém, com sensibilidade inferior na faixa de 32 à 34mV/pH.