A novel squeezed-film damping model for MEMS comb structures

Sinding, Alexandre; Parent, Arnaud; Ocak, Ilker Ender; Syed, Wajih U.; Chatterjee, Aveek; Welham, Chris; Liu, Shuangqin; Yan, Jun Xia; Breit, Stephen; Chang, Hyun-Kee; Elfadel, Ibrahim M.; Sbiaa, Zouhair

doi:10.1109/transducers.2017.7994487

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“…Por casi 40 años este tipo de modelo ha sido estudiado desde varios puntos de vista. Lo que implica que una bibliografía completa está más allá del alcance de este trabajo, sin embargo, se citan algunos resultados que se consideran relevantes en la actualidad [3,31,32,36,37], entre otros.…”

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Cuencas de atracción y estimativo del atractor global del modelo AFM disipativo squeeze-film-damping

Chaves Tobar,

Gutiérrez Gutiérrez

2023

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En este documento se recopilan los resultados obtenidos en el proyecto de investigación E3-21-1 del año 2021, que fue financiado por la Vicerrectoría de Investigación, Innovación y Extensión de la Universidad Tecnológica de Pereira, con el soporte del grupo de investigación de ecuaciones diferenciales y aplicaciones (GREDYA). El modelo que se estudia es el Microscopio de Fuerza Atómica o AFM, Atomic Force Microscope, con fuerzas del tipo Lenard Jonnes y efecto squeeze-film damping (o amortiguamiento de película de compresión). Las fuerzas del tipo Lenard-Jonnes presentan singularidades mixtas en la variable de estado, es decir, singularidades que tiene un término atractivo y otro repulsivo, y el efecto squeeze film damping presentan una singularidad de la variable de estado. Los resultados principales del libro son: la estimación de la cuenca atractiva de las soluciones de equilibrio asintóticamente estables, la existencia y representación analítica de un atractor global y la aproximación de las variedades estable e inestable locales para la solución de equilibrio tipo silla. Los resultados obtenidos en esta investigación tienen gran importancia en el diseño, construcción y mantenimiento de este tipo de dispositivos. Los fundamentos teóricos para el desarrollo del documento se incluyen como apéndice.

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