A new approach to the CZ crystal growth weighing control

Колебания Фронта Кристаллизации, Вызванные Гармоническими Осцилляциями Скорости Вытягивания, Для Цилиндрической Фазы Роста Кристалла

“…Амплитуда изменения радиуса кристалла в самом худшем случае не превышает 0.061 mm. При расчетах использовалась формула Цивинского для h 0 [14].…”

“…Первая из них состоит в использо-вании ряда моделей контроля как радиуса кристалла, так и скорости выращивания [1][2][3][4][5][6][7][8][9][10][11], используя показания весового датчика; вторая -представляет собой непосредственное прямое измерение диаметра. Эту возможность можно реализовать как чисто оптическим путем [12], так и с помощью модуляции скорости вытягивания с дальнейшим измерением изменения уровня расплава [13] либо измерения веса кристалла в крайних положениях штока [14,15].…”

“…Другими словами, если скорость роста кристал-ла меняется незначительно, что можно обеспечить соответствующим выбором величины амплитуды колебаний штока согласно результатам настоящей статьи, то метод измерения из [14] можно иcпользовать.…”

Chemistry and Functional Materials. School of Sciences of Academician F. A. Kuznetsov

“…Разработанным мето-дом выращено более двадцати соединений двойных щелочно−редкоземельных молибдатов и вольфра-матов состава: М + М 3+ (М 6+ О 4 ) 2 (где М + = Li, Na, K, Rb, Cs; M 3+ = РЗМ; М 6+ = Mo, W). Позднее низкогради-ентный метод был успешно использован для роста из расплава ряда оксидных кристаллов, которые ранее выращивали традиционной техникой Чохральского -PbMoO 4 , LiNbO 3 , Bi 4 Ge 3 O 12 (BGO), CdWO 4 (CWO), ZnWO 4 , ZnMoO 4 и др., причем во всех этих случаях удалось повысить качество кристаллов и увеличить их размеры [19][20][21][22][23][24].…”

Электрофизические параметры и дефекты структуры Ge, полученного низкоградиентным методом Чохральского / Фрицлер К.Б., Труханов Е.М., Касимкин П.В., Шлегель В.Н., Васильев Я.В.

“…Авторами [6] разработана методика оценки диаметра кристалла на основе модуляции весового сигнала при помощи периодических возвратно-поступательных движений штока держателя затравки. Это позволило повысить устойчивость системы управления, применяя типовые алгоритмы регулирования.…”