Колебания Фронта Кристаллизации, Вызванные Гармоническими Осцилляциями Скорости Вытягивания, Для Цилиндрической Фазы Роста Кристалла

Abstract

Для низкоградиентного способа выращивания Чохральского предложен метод измерения площади поперечного сечения кристалла с помощью весового датчика по разнице его показаний в крайних положениях штока при ступенчатом и непрерывном режиме модуляции cкорости вытягивания. Произведена оценка изменения скорости кристаллизации при гармонических колебаниях скорости вытягивания с целью сохранения качества выращиваемого кристалла при этом методе измерения. DOI: 10.21883/PJTF.2017.03.44222.16427