Определена связь геометрии метрического пространства поверхности тонкопленочной металлической TiAlNiAu-системы с геометрией функционального пространства ее слоевых сопротивлений Rsq. На основе этого описан наблюдающийся в локальном приближении латеральный размерный эффект, который проявляется в зависимости слоевого сопротивления Rsq металлической TiAlNiAu-пленки от ее латеральных (в плоскости (x, y)) линейных размеров. Зависимость Rsq от линейных размеров определяется фрактальной геометрией образующих ее дендритов, а именно -степенной зависимостью изменения линейных размеров от фрактальной размерности D f . Обнаруженная закономерность имеет важное практическое значение как для точного расчета значений Rsq тонкопленочных металлических систем при проектировании дискретных приборов и интегральных микросхем, так и для контроля результатов технологических процессов получения тонких металлических пленок и систем на их основе на микронном и наноуровнях.
scite is a Brooklyn-based organization that helps researchers better discover and understand research articles through Smart Citations–citations that display the context of the citation and describe whether the article provides supporting or contrasting evidence. scite is used by students and researchers from around the world and is funded in part by the National Science Foundation and the National Institute on Drug Abuse of the National Institutes of Health.