Показано преимущество высокочастотной спектроскопии электронного парамагнитного резонанса для идентификации доноров азота и глубокой компенсирующей примеси ванадия в различных кристаллографических позициях кристалла карбида кремния. Измерения были выполнены на спектрометре электронного парамагнитного резонанса нового поколения, работающем как в непрерывном, так и в импульсном режимах на частотах 94 и 130 ГГц в широком интервале магнитных полей (--7-7 Тл) и температур (1.5-300 K) с применением магнитооптического криостата замкнутого цикла (Spectormag PT), высокостабильных генераторов (94 и 130 ГГц) и безрезонаторной системы подачи микроволновой мощности на образец. Ключевые слова: электронный парамагнитный резонанс, электронное спиновое эхо, полупроводники, карбид кремния, донорные примеси.
scite is a Brooklyn-based organization that helps researchers better discover and understand research articles through Smart Citations–citations that display the context of the citation and describe whether the article provides supporting or contrasting evidence. scite is used by students and researchers from around the world and is funded in part by the National Science Foundation and the National Institute on Drug Abuse of the National Institutes of Health.