В последнее время обнаружено наличие сегнетоэлектрических свойств наноразмерных пленок на основе оксида гафния. Такие пленки представляют большой интерес для разработки универсальной памяти, которая сочетает преимущества оперативной и флэш-памяти. В работе изучаются оптические свойства пленок оксида гафния-циркония HfxZryO2 и пленок оксида гафния-циркония, легированных лантаном, La : HfxZryO2. Флуктуации толщины пленок HfxZryO2 не превышают 3.5%, флуктуации толщины пленок La : HfxZryO2 --- 3.2%. Оптические свойства анализируются на основе теории эффективной среды. По данным теории эффективной среды пленки HfxZryO2 содержат 46% HfO2, 54% ZrO2, пленки La : HfxZryO2 содержат 47.5% HfO2, 52.4% ZrO2, 2.5% La2O3. Ключевые слова: сегнетоэлектрик, показатель преломления, спектроэллипсометрия, теория эффективной среды.
scite is a Brooklyn-based organization that helps researchers better discover and understand research articles through Smart Citations–citations that display the context of the citation and describe whether the article provides supporting or contrasting evidence. scite is used by students and researchers from around the world and is funded in part by the National Science Foundation and the National Institute on Drug Abuse of the National Institutes of Health.