Получены и исследованы эпитаксиальные слои нового широкозонного полупроводника alpha-Ga2O3, легированного оловом. Слои выращены методом хлоридной эпитаксии на гладких и профилированных сапфировых подложках. Данный тип профилированных подложек широко применяется для увеличения выхода излучения в высокоэффективных светодиодных структурах на основе InGaN. Проведен сравнительный анализ свойств полученных слоев оксида галлия. Оба типа образцов обладали проводимостью n-типа, однако выявлено различие в зависимостях емкости от частоты и емкости от напряжения. Методом рентгеновской дифрактометрии установлены различия дислокационной структуры в эпитаксиальных слоях alpha-Ga2O3 на гладких и профилированных подложках. Ключевые слова: оксид галлия, хлоридная эпитаксия, профилированные подложки.
Record thick (up to 100 μm) epitaxial layers of a prospective semiconductor metastable Ga2O3 were grown by HVPE (Halide Vapor Phase Epitaxy) on GaN buffer layers on c-sapphire substrate. The X-ray diffraction spectra of the layers show that the structure of the layer is a pure k(ε)-Ga2O3 without any other phases. At the same time, the organization of the domain structure is noted, which manifests itself in the form of pseudohexagonal prisms with the inheritance of the orientation of the gallium nitride sublayer. Schottky diodes with a nickel contact were fabricated and the electrical and photoelectric properties of the layers were studied. Capacitance-voltage (C-V) and frequency-capacitance (C-f) dependencies have been studied, photocurrent and photocapacitance spectra have been measured.
scite is a Brooklyn-based organization that helps researchers better discover and understand research articles through Smart Citations–citations that display the context of the citation and describe whether the article provides supporting or contrasting evidence. scite is used by students and researchers from around the world and is funded in part by the National Science Foundation and the National Institute on Drug Abuse of the National Institutes of Health.