Экспериментально и теоретически исследованы оптические свойства анизотропных пленок мезопористого кремния, содержащих свободные носители заряда (дырки), в инфракрасной области спектра. Результаты моделирования оптических свойств полученных образцов в рамках приближения эффективной среды демонстрируют сильную зависимость двулучепреломления, анизотропии отражения и дихроизма от концентрации свободных носителей заряда. Вкладом носителей заряда с концентрацией порядка 1019 см-3 объясняются немонотонные зависимости спектров разностного пропускания образцов, измеренные при взаимно перпендикулярных направлениях поляризации света. Полученные результаты свидетельствуют о перспективности анизотропных кремниевых наноструктур для инфракрасной фотоники и терагерцовой техники. DOI: 10.21883/FTP.2017.08.44796.8119
Attenuated total reflection infrared spectroscopy was used to determine the free charge carrier concentration in the arrays of silicon nanowires of characteristic transverse dimension of 50–100 nm and the length of the order of 10 μm which were formed on low-doped crystalline p-type silicon via metal-stimulated chemical etching and subjected to additional thermodiffusion boron doping at the temperatures 850–1000 оС. It was found out that the free hole concentration varies from 5•1018 to 3•1019 cm-3 depending on the annealing temperature and reaches it’s maximum at 900–950 оС. The results can be used to expand the scope of silicon nanowires application in photonics, sensorics and thermoelectric power converters.
scite is a Brooklyn-based organization that helps researchers better discover and understand research articles through Smart Citations–citations that display the context of the citation and describe whether the article provides supporting or contrasting evidence. scite is used by students and researchers from around the world and is funded in part by the National Science Foundation and the National Institute on Drug Abuse of the National Institutes of Health.