Методом магнетронного распыления синтезированы тонкие (~50 нм) пленки арсенида кадмия на подложках монокристаллического кремния и лейкосапфира. Методами РФА, СЭМ, АСМ и КРС установлено, что состав пленок соответствовал стехиометрии Сd 3 As 2 . Пленки кроме фазы α-Cd 3 As 2 содержали незначительное количество фазы α'-Cd 3 As 2 . При отжиге 520 К наблюдалась рекристаллизация с образованием текcтурированных пленок с осью [112] на подложках из монокристал лического кремния. Области когерентного рассеяния в отожженных пленках, рассчитанные по уравнению Дебая-Шеррера, составили ~30 нм.
scite is a Brooklyn-based organization that helps researchers better discover and understand research articles through Smart Citations–citations that display the context of the citation and describe whether the article provides supporting or contrasting evidence. scite is used by students and researchers from around the world and is funded in part by the National Science Foundation and the National Institute on Drug Abuse of the National Institutes of Health.