Описаны методы исследований и первые результаты, полученные при изучении шероховатости подложек из монокристаллического кремния (111), обработанных на финальной стадии различными способами: традиционная полировка без использования химико-механической полировки (ХМП), с использованием ХМП и без ХМП, но с применением нанопорошков окиси церия. Продемонстрирована эффективность использования нанопорошков CeO2. Были получены следующие значения эффективной шероховатости: без ХМП --- 3.56 nm, с ХМП --- 0.54 nm и без ХМП, но с полировкой CeO2 --- 0.93 nm. Ключевые слова: поверхность, шероховатость, рентгенов ская оптика, глубокая шлифовка-полировка.
The work is devoted to the development, fabrication and analysis of broadband W / Si multilayer mirrors for a broadband monochromator, calculated for the spectral range of 7–10 keV. The possibility of using the stacking approach to obtain multilayer mirrors with a reflection coefficient of about 30% and a spectral bandwidth ΔE / E of about 20% is shown. The results of measurements of the angular and spectral reflection curves of the mirror obtained on a laboratory diffractometer and on a synchrotron in Novosibirsk are presented.
scite is a Brooklyn-based organization that helps researchers better discover and understand research articles through Smart Citations–citations that display the context of the citation and describe whether the article provides supporting or contrasting evidence. scite is used by students and researchers from around the world and is funded in part by the National Science Foundation and the National Institute on Drug Abuse of the National Institutes of Health.