Показаны прикладные возможности использования модифицированного топографического метода Берга-Баррета в косоасимметричной схеме дифракции рентгеновских лучей на отражение при исследовании морфологии и структурных изменений вблизи поверхности кристаллов. Контролируемое изменение экстинкционной глубины проникновения рентгеновских лучей открывает новые возможности исследования структурных изменений в полупроводниковых материалах после различных внешних воздействий.
Новый подход к анализу рентгеновских дифрактограмм на основе вейвлет-преобразований И. М. Фодчук, Ю. Т. Роман, С. В. БаловсякЧерновицкий национальный университет имени Юрия Федьковича, ул. Коцюбинского, 2, 58012 Черновцы, Украина Проведены рентгеновские структурные исследования тонких плёнок TiN, полученных методом реактивного магнетронного распыления. Для уменьшения влияния высокочастотного шума и неоднородной фоновой интенсивности на форму дифракционных максимумов применена мето-дика вейвлет-фильтрации с помощью семейства биортогональных вейв-летов. Это позволило значительно повысить точность определения перио-да решётки, размера зерна и значения микродеформации.Ключевые слова: нитрид титана, тонкие плёнки, рентгеновская дифрак-тометрия, вейвлет-анализ.Проведено рентґенівські структурні дослідження тонких плівок TiN, оде-ржаних методою реактивного магнетронного розпорошення. Для змен-шення впливу високочастотного шуму та неоднорідної фонової інтенсив-ности на форму дифракційних максимумів застосовано методику вейвлет-фільтрації за допомогою сімейства біортогональних вейвлетів. Це умож-ливило значно підвищити точність визначення періоду ґратниці, розміру зерна та значення мікродеформації.Ключові слова: нітрид титану, тонкі плівки, Х-променева дифрактомет-
Структурні дефекти кристалічних сполук впливають на працездатність приладів, виготовлених на основі таких матеріалів. Запропоновано методику розрахунку дислокаційної структури таких сполук з проміжними значеннями густин дислокацій (∼10 5 -10 6 см −2 ). Показано вплив різного роду дефектів на формування дифузної та когерентної складових розподілів інтенсивності розсіяння Х-променів. Розглянуто вірогідні дислокаційні реакції як на межах блоків, так і всередині кристалів. На основі кінематичної теорії Кривоглаза з використанням методу Монте-Карло дос-
scite is a Brooklyn-based organization that helps researchers better discover and understand research articles through Smart Citations–citations that display the context of the citation and describe whether the article provides supporting or contrasting evidence. scite is used by students and researchers from around the world and is funded in part by the National Science Foundation and the National Institute on Drug Abuse of the National Institutes of Health.