Оттиски доступны непосредственно от издателя Фотокопирование разрешено только в соответствии с лицензией 2015 ИМФ (Институт металлофизики им. Г. В. Курдюмова НАН Украины) Напечатано в Украине.
Оттиски доступны непосредственно от издателя Фотокопирование разрешено только в соответствии с лицензией 2014 ИМФ (Институт металлофизики им. Г. В. Курдюмова НАН Украины) Напечатано в Украине.
Изучено влияние температуры подложки и среды отжига (вакуум или атмосфера азота) на формирования фазового состава и структуры нано-размерных плёнок CoSb x (30 нм) (1,8 х 4,2) с концентрацией Sb от 65 ат.% до 81 ат.%. Определено, что при осаждении на подложки при ком-натной температуре формируется рентгеноаморфное состояние. При дальнейшем нагреве после кристаллизации область существования фазы CoSb 3 расширяется (75-80 ат.% Sb) по сравнению с массивным состояни-ем (75 ат.% Sb). При увеличении температуры подложки до 200C обра-зуются плёнки Co-Sb в кристаллическом состоянии, и закономерности формирования фазового состава в них характеризуются последовательно-стью превращений, которая соответствует диаграмме фазового равнове-сия для массивного состояния системы Co-Sb. Установлено, что плёнки на основе CoSb 3 термически стабильны до 300C. Отжиг плёнок Co-Sb как в вакууме, так и в атмосфере азота при температурах выше 300C приводит к сублимации как избыточной сурьмы, так и сурьмы из кри-сталлической фазы CoSb 3 . Показано, что влияние среды отжига для плё-нок Co-Sb проявляется в более интенсивной сублимации сурьмы при от-жиге в вакууме. Установлено, что более интенсивный процесс сублима-
By the methods of Auger-spectroscopy and mass-spectrometry of secondary ions, small-angle electron diffraction, X-ray and resistometry analyses the solid-state reactions in the Ti(5 nm)/ Ni(24 nm)/Si(001) thin film system at annealing in running nitrogen in the temperature interval of 723 – 1273 К are investigated. Regularities of phase transformations, consistency of solid-state reactions, layer-by-layer redistribution of components during annealing, features of surface morphology during formation of inclusions of silicide phases are established.
scite is a Brooklyn-based organization that helps researchers better discover and understand research articles through Smart Citations–citations that display the context of the citation and describe whether the article provides supporting or contrasting evidence. scite is used by students and researchers from around the world and is funded in part by the National Science Foundation and the National Institute on Drug Abuse of the National Institutes of Health.