No abstract

No abstract

The coercive field of soft magnetic ferromagnets is a structure-sensitive property and, in particular, is substantially affected by residual stresses. In the present study, the phase and structural states and residual stresses of the FeTiB and FeZrN films of various compositions, which were prepared by magnetron deposition on glass substrates and subsequent 1-h annealing at temperatures of 200–600 °C, were investigated by X-ray diffraction. The formation of a nanocrystalline structure is observed. It comprises different phases having different lattice parameters and unit-cell volumes and is characterized by high level of microstrains of grains as well; the microstrains predetermine the formation of high compressive stresses in the deposited films. As the annealing temperature increases, the compressive stresses decrease and, at certain temperatures, gradually transform into thermal tensile stresses, which are induced by the difference in the thermal expansion coefficients of the film and substrate. Thus, the heat treatment is the efficient way to improve the soft magnetic properties of the studied class of film materials produced by magnetron deposition.

To design films with the Fe/TiB2 nanocomposite structure, which are characterized by high saturation induction Bs, the phase and structural states and static magnetic properties of Fe‐TiB2 films prepared by magnetron sputtering and subjected to subsequent annealing have been studied. According to X‐ray diffraction data, either amorphous or nanocrystalline single‐phase structure (an α‐Fe(Ti,B) supersaturated solid solution with a bcc crystal lattice) is formed in the as‐sputtered films. Depending on the film composition, the grain size of the α‐Fe(Ti,B) phase varies from 45.6 to 6.5 nm; grains are characterized by high microstrain (0.21‐4.96%). The annealing at 200‐500 °C leads to a decrease in the lattice parameter of the α‐Fe(Ti,B) phase, i.e. to its depletion of titanium and boron and to the formation of two‐phase α‐Fe + Fe3B structure after annealing at 500 °C. The annealing at 200‐500 °C almost does not affect the grain size and microstrain of the bcc α‐Fe‐based phase. The amorphous state of the films is stable up to 500 °C. All studied films are ferromagnets; the saturation induction Bs(0.95‐2.13 T) and coercive field Hc (0.4‐5 kA/m) of the films were determined. Correlations between the Bs and Hc magnitudes and the chemical composition of the films, their phase and structural states and magnetic structure are discussed. (© 2016 WILEY‐VCH Verlag GmbH & Co. KGaA, Weinheim)

Институт металлургии и материаловедения (ИМЕТ) им. А.А. Байкова РАН, г. Москва Национальный исследовательский технологический университет «МИСиС», г. Москва Федеральный научно-исследовательский центр «Кристаллография и фотоника» РАН, Институт кристаллографии им. А.В. Шубникова, г. Москва Московский государственный технический университет (МГТУ) им. Н.Э. Баумана, г. Москва Статья поступила в редакцию 06.02.20 г., доработана 06.07.20 г., подписана в печать 10.07.20 г.Аннотация: Основными тенденциями современной развивающейся магнитной микроэлектроники являются миниатюризация и быстродействие при обеспечении эффективности работы в МГц-и ГГц-интервалах частот магнитных полей. Создание новых магнитных материалов, характеризующихся свойствами, обеспечивающими реализацию этих тенденций, является важнейшей фундаментальной и прикладной проблемой материаловедения. В этой связи проявляется интерес к нанокристаллическим магнитомягким сплавам систем Fe-Me-X (Me -один из переходных металлов IVb группы Периодической системы элементов, X -один из легких элементов N, C, O, B), получаемых в виде пленок. Такие пленки, характеризующиеся двухфазной структурой Fe/MeX, способны, как было показано ранее авторами настоящей статьи на пленках системы Fe-Zr-N, обеспечить сочетание высокой индукции насыщения (B s ), низкой коэрцитивной силы (H c ) и повышенных показателей твердости и термической стабильности структуры. Пленки готовили по технологии магнетронного напыления. Полученные и опубликованные ранее авторами настоящей статьи данные о пленках системы Fe-Ti-B свидетельствуют о перспективности их применения в современной микроэлектронике. Какие-либо другие опубликованные результаты исследований пленок FeTiB в контексте их применения в устройствах микроэлектроники отсутствуют. В настоящей работе продолжены начатые ранее исследования пленок FeTiB, направленные на выявление химического и фазового составов, обеспечивающих требуемый для применения в микроэлектронике уровень свойств. Методом магнетронного напыления в режиме постоянного тока получены нанокристаллические пленки, содержащие Ti от 0 до 14,3 ат.% и B от 0 до 28,9 ат.%. Фазово-структурное состояние пленок исследовано методами рентгеновской дифракции и просвечивающей электронной микроскопии. По фазовому составу все пленки делятся на 3 группы: однофазные (пересыщенный твердый раствор Ti в α-Fe), двухфазные (α-Fe(Ti)/α-Ti, α-Fe(Ti)/TiB 2 , α-Fe(Ti)/FeTi, α-Fe(Ti)/Fe 2 B) и рентгеноаморфные. Показано, что пленки, обозначенные как рентгеноаморфные, характеризуются смешанной структурой, представленной твердым раствором α-Fe(Ti) с размером зерна в интервале от 0,7 до 2,0 нм и аморфной фазой. Сделано обоснованное предположение об обогащении аморфной фазы бором. Дана количественная оценка размера зерна фазы α-Fe(Ti) и его зависимости от химического и фазового составов пленок. Установлено, что механизмы твердорастворного и дисперсионного упрочнения определяют размер зерна этой фазы.