Время задержки сигнала в сверхбольших интегральных схемах Предложена методика расчета времени задержки сигнала, позволяющая на основе результатов моделирования сопротивления, емкости и индуктивности металлизации в среде COMSOL Multiphysics прогнозировать величину задержки сигнала с учетом паразитных составляющих индуктивности и емкости металлизации. Установлено, что при уменьшении топологической нормы сверхбольших интегральных схем от 90 до 7 нм вклад индуктивной составляющей можно не учитывать. Ключевые слова: металлизация СБИС, время задержки, модель, COMSOL.