To achieve high characteristics of single-photon detectors based on WSi thin films it is necessary to provide high film thickness uniformity more than 95%. This paper presents a mathematical modeling of the thickness uniformity of an ultra-thin film formed by magnetron sputtering from two sources, based on an experimentally determined mass flow from a single magnetron, depending on the location of the magnetrons relative to the substrate holder. According to the results of non-uniformity modeling, the requirements for the design and location of the magnetron unit in the chamber were made, which ensured the required non-uniformity of the film thickness of less than 5%.
В работе описаны актуальные модели
детектирования и текущее состояние
развития техники однофотонных детекторов.
Проведен анализ материалов изготовления
ультратонких пленок для детекторов,
структура которых создана на основе
полосок микрометровой ширины (SMSPD),
и составлены рекомендации для улучшения
их рабочих характеристик. Для снижения
скорости темнового счета (DCR), возрастания
эффективности детектирования системы
(SDE), быстродействия (CR) и увеличения
активной площади необходимо использовать
SMSPD из рентгеноаморфных материалов
типа α-Mn
с низким коэффициентом
диффузии, обладающих топологией,
созданной на основе брэгговских
отражающих структур (DBR), с высоким
коэффициентом заполнения и уширением
полосы элементов на повороте.
scite is a Brooklyn-based organization that helps researchers better discover and understand research articles through Smart Citations–citations that display the context of the citation and describe whether the article provides supporting or contrasting evidence. scite is used by students and researchers from around the world and is funded in part by the National Science Foundation and the National Institute on Drug Abuse of the National Institutes of Health.