ResumenSe depositaron recubrimientos de nitruro de titanio (TiN y TiN/Ti) y nitruro de titanio circonio (TiZrN) sobre aceros AISI 304 y 316L por medio de la técnica magnetrón Sputtering DC para evaluar sus propiedades superficiales y mecánicas, así como la resistencia a la corrosión. El análisis estructural realizado por medio de difracción de rayos X (XRD) mostró que todos los materiales estudiados cristalizaron en una estructura f.c.c, con orientación preferencial en plano de Bragg (111); el recubrimiento de TiZrN, muestra estrés a la compresión por la inclusión de átomos de Zr en la estructura del TiN y se observa ensanchamiento en los picos de difracción debido a la presencia de TiN en la película. Las característi-cas superficiales medidas por perfilometría (rugosidad R a ) y espesor) muestran valores de R a inferiores a 100 nm, típicos de capas delgadas sintetizadas por este método. Los espesores obtenidos varían desde 364,50 nm hasta 580,25 nm. Usando nanoindentación se obtuvieron valores de dureza de capa de TiN, TiN/Ti y TiZrN de 16,173, 18,524 y 17,307 Gpa respectivamente; la evaluación de la resistencia a la corrosión (polarización tafel) muestra que la velocidad de corrosión del acero disminuye cuando la superficie es protegida con un recubrimiento, hecho que se determinó por la reducción de la tasa de corrosión.Palabras clave: Magnetron Sputtering DC; TiZrN; TiN/Ti; corrosión. AbstractTitanium nitride (TiN and TiN/Ti) and titanium zirconium nitride (TiZrN) thin films were deposited on AISI 304 and 316L stainless steels, using DC Magnetron Sputtering, to evaluate the superficial, mechanical and corrosion resistance properties. X Ray Diffraction (XRD) structural analysis performed showed that in all studied systems had f.c.c crystalline structure, with (111) bragg plane preferential orientation. The TiZrN coating shows compressive stress by the inclusion of Zr atoms in the structure of TiN and peak widening is observed due to the presence on the film of TiN. Superficial characteristics obtained by profilometry (roughness (Ra) and thickness) shows Ra values below 100 nm, typical of thin films obtained by this technique. The thickness obtained ranges from 364,50 to 580,25 nm.Using nanoindentation, hardness values TiN, TiN/Ti and TiZrN of 16,173, 18,524 and 17,307 Gpa were obtained for thin films respectively. Corrosion re-
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