Температурный коэффициент линейного расширения (в интервале температур от 130 до 800 K) боросиликатных стекол, пригодных для соединения с кремнием в микроэлектроникеПредставлены результаты обработки измерений ТКЛР и относительного удлинения боросиликатных стекол двух марок -ЛК5 и Borofloat 33. Термомеханическим анализатором TMA7100 было измерено удлинение образцов стекла в интервале температур от 130 до 800 К (от -143 до +526 °C). Относительная погрешность косвенных измерений ТКЛР и относительного теплового удлинения стекол обеих марок не превышает ±5 и ±3 % соответственно. Представлены полиномиальные уравнения, аппроксимирующие полученные результаты измерений в зависимости от температуры. Полученные результаты облегчат задачи моделирования характеристик приборов микросистемной техники, изготавливаемых с применением анодной посадки кремния на стекло, а также их можно использовать для оптимизации температурного режима соединения кремния со стеклом. Ключевые слова: линейное расширение, ТКЛР, термомеханический анализ, боросиликатное стекло
AbstractProcessing results of measurements of linear thermal expansion coefficients and linear thermal expansion of two brands of borosilicate glasses -LK5 and Borofloat 33 -are presented. The linear thermal expansion of glass samples have been determined in the temperature range 130 to 800 K (-143 to 526 °С) using thermomechanical analyzer TMA7100. Relative imprecision of indirectly measured linear thermal expansion coefficients and linear thermal expansion of both glass brands is less than ±5 % and ±3 % respectively. Polynomial equations, approximating temperature dependence of obtained measurements, are presented. The results will facilitate the modeling of the characteristics of the devices which are used in microsystems engineering and fabricated by anodic bonding of silicon to glass; they can also be used to optimize the temperature regime of silicon to glass bonding process.Keywords: linear expansion, thermal expansion coefficient, thermomechanical analysis, borosilicate glass. В микромеханике широко применяется анодная посадка кремния на стекло. Для повышения точности моделирования характеристик приборов необходимы данные о температурной зависимости теплофизических параметров применяемых марок стекол в формульной записи полиномиального вида. Производители предоставляют такие данные по средним значениям в одном или нескольких интервалах температур. Однако этих данных недостаточно для точного моделирования характеристик приборов в широких интервалах рабочих температур. В представленной работе приведены полиномиальные аппроксимации результатов измерений температурных коэффициентов линейного расширения (ТКЛР) и относительного удлинения боросиликатных стекол двух марок -ЛК5 (Лыткаринский завод оптического стекла, Россия) и Borofloat 33 (Planoptik, Германия).Для получения экспериментальных данных в интервале температур от 130 до 800 K (от -143 до +526 °C) использовали термомеханический анализатор ТМА 7100 SII Nanotechnology. Прибор измеряет линейные размеры образца в условиях те...
scite is a Brooklyn-based organization that helps researchers better discover and understand research articles through Smart Citations–citations that display the context of the citation and describe whether the article provides supporting or contrasting evidence. scite is used by students and researchers from around the world and is funded in part by the National Science Foundation and the National Institute on Drug Abuse of the National Institutes of Health.