Откачная характеристика высоковакуумной системы зависит от ряда факторов: откачной характеристики высоковакуумного турбомолекулярного насоса (ТМН), проводимости соединительных магистралей, откачной характеристики форвакуумной системы откачки, натекания газа в систему, а именно потоков газовыделения, потоков газа из-за негерметичности элементов конструкции. В работе рассмотрено влияние этих факторов на откачную характеристику вакуумной системы с ТМН. В работе предложен метод определения параметров форвакуумного насоса, обеспечивающåго улучшение откачной характеристики вакуумной системы с ТМН при повышенных давлениях всасывания. Ключевые слова: вакуумная система, откачная характеристика, форвакуум, давление, турбомолекулярный насос, проводимость, быстрота действия, поток.
scite is a Brooklyn-based organization that helps researchers better discover and understand research articles through Smart Citations–citations that display the context of the citation and describe whether the article provides supporting or contrasting evidence. scite is used by students and researchers from around the world and is funded in part by the National Science Foundation and the National Institute on Drug Abuse of the National Institutes of Health.