Zusammenfassung
Thermopile-Sensor-Arrays sind eine kostengünstige Alternative für
die Aufnahme von Wärmebildern mit geringeren Anforderungen an die
räumliche Auflösung. Durch Einführung neuer
Herstellungstechnologien, insbesondere einer modifizierten monolithischen
CMOS-Technologie mit geringen Strukturgrößen und strukturgenauer
Oberflächenmikromechanik, ist es möglich geworden, Thermopilearrays
mit Auflösungen von derzeit bis zu 3968 Bildpunkten herzustellen.
Neuartige Verpackungstechnologien mit Gasen geringer
Wärmeleitfähigkeit führen zu erhöhten
Sensitivitätswerten von 400 V/W. Mit der Einführung von
Vakuumgehäusen konnten sogar Sensitivitätswerte von 800 V/W gemessen
werden.
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