Im Falle schwacher Absorption kann das spektrale Reflexionsvermögen eines dünnen Films auf einem nichtabsorbierenden Substrat zur Bestimmung der spektralen Abhängigkeit der Absorptionskonstanten benutzt werden.
Bei der Messung der optischen und geometrischen Dicke von epitaktischen Si‐Schichten auf Spinell oder Sapphir als Funktion der Fihndicke wird eine Dickendifferenz festgestellt, die als Zwischenschicht zwischen Substrat und Si gedeutet wird.
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