Turbomolecular pumps are high‐vacuum pumps which are used both for attaining very low ultimate pressures down to 10−10 mbar and for handling of high process gas flows up to inlet pressures of 10−3 mbar. Pumping speed and compression of these pumps essentially depend on the diameter of the inlet flange, on the design and rotational speed of the rotor and the Holweck stage respectively, and on gas type of the gases to be pumped.
The development of the novel TURBOVAC i/iX turbomolecular pump by Oerlikon Leybold Vacuum aimed at the realization of high pumping speeds and high compression ratios, especially for light gases. Both the rotor design and the bearing concept were particularly adapted to these requirements, also by using modern computer simulation tools.
This design concept has already proven its functionality in R&D and analytical applications.
In diesem Artikel werden die Diagramme “Hochvakuum‐Druck als Funktion des Vorvakuum‐Drucks” (“pHV gegen pVV”) und “Kompression als Funktion des Vorvakuum‐Drucks” (“K gegen pVV”) vorgestellt. Mit Hilfe dieser Diagramme kann die Leistungsfähigkeit jeder Turbo‐Molekularpumpe vollständig und zuverlässig beurteilt werden. Beide Diagramme werden bislang nur selten in Katalogen gezeigt.
Grundsätzlich fehlen in den Katalogen die sogenannten “Grenzkurven” (“Q als Funktion von pVV, Kmax”). Diese Kurven geben an, welchen Mindest‐Druck die Vorvakuum‐Pumpe bei vorgegebenem Gas‐Durchsatz Q am Vorvakuum‐Stutzen der Turbo‐Molekularpumpe erzeugen muss, damit sich auf der Hochvakuum‐Seite der Turbo‐Molekularpumpe ein stabiler Druck einstellen kann.
Mit Hilfe der Gas‐Art‐spezifischen Grenzkurve und der meistens gut dokumentierten entsprechenden Saugvermögenskurve kann man die Funktionstüchtigkeit und Leistungsfähigkeit einer ausgewählten Kombination Turbo‐Molekularpumpe plus Vorvakuum‐Pumpe bereits näherungsweise – aber eben nicht vollständig – beschreiben.
Darüber hinaus werden in diesem Artikel analytische Funktionen angegeben, die die Druck‐Abhängigkeit der Kompression und des Saugvermögens ausgezeichnet beschreiben.
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