P‐, B‐ oder Zn‐haltige SiO2‐Filme werden auf Si aus einem flüssigen Gemisc abgeschieden, das aus den polymerisierenden Hydrolyseprodukten von Tet äthoxysilan in einem organischen Lösungsmittel mit Zusatz von Phosphor bzw. Borsäure oder Zn(NO3), besteht.
scite is a Brooklyn-based organization that helps researchers better discover and understand research articles through Smart Citations–citations that display the context of the citation and describe whether the article provides supporting or contrasting evidence. scite is used by students and researchers from around the world and is funded in part by the National Science Foundation and the National Institute on Drug Abuse of the National Institutes of Health.