Аннотация. Рассмотрены физико-технологические аспекты получения нанострутурных топокомпозитных покрытий на основе каскадного перекрёстного эффекта с использованием специальной катодной системы, позволяющей осуществлять ионно-плазменную обработку одновременно с использованием трёх катодов в импульсном режиме. Проведены теоретические и экспериментальные исследования формирования концентрационных профилей распределения элементов в приповерхностных слоях двухслойной системы «плёнка-основа». Установлены особенности развивающихся в условиях каскадного перекрёстного эффекта процессов массопереноса. Показано, что за счёт взаимной диффузии элементов плёнки и основы в области межфазной границы в системе «плёнка-основа» образуется переходная область с размерами, сопоставимыми с толщиной наноплёнки. Продемонстрирован пример получения многослойной наноструктурной композиции на основе каскадного перекрёстного эффекта. Ключевые слова: наноструктурные топокомпозитные покрытия, каскадный перекрёстный эффект, система «плёнка-основа», ионно-плазменная обработка, массоперенос.
scite is a Brooklyn-based organization that helps researchers better discover and understand research articles through Smart Citations–citations that display the context of the citation and describe whether the article provides supporting or contrasting evidence. scite is used by students and researchers from around the world and is funded in part by the National Science Foundation and the National Institute on Drug Abuse of the National Institutes of Health.