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Zusammenfassung Dieser Beitrag beschreibt ein Programmpaket zur automatisierten Herleitung des mathematischen Modells in symbolischer Darstellung von kapazitiven MEMS-Drehratensensoren. Im Anschluss an die Beschreibung des Funktionsprinzips eines speziellen einachsigen Drehratensensors mit kapazitivem Antrieb und kapazitiven Auslesestrukturen wird ein mathematisches Konzept zur systematischen Beschreibung einer bestimmten Klasse von Drehratensensoren vorgestellt. Das resultierende System von Differentialgleichungen kann im Computeralgebraprogramm MAPLE zum Reglerentwurf und zur weiteren Analyse verwendet werden und ein automatisierter C-Code-Generator ermöglicht eine nahtlose Einbindung in die Simulationsumgebung von MATLAB/SIMULINK.

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