Nanoteknologi dan nanometrologi adalah dua bidang keilmuan yang tidak bisa dipisahkan. Perkembangan pesat pada penelitian yang menghasilkan produk nanoteknologi tentunya membutuhkan nanometrologi untuk menjamin kontrol kualitasnya. Tren pengembangan nanoteknologi saat ini terus mengalami peningkatan di seluruh dunia, termasuk di Indonesia. Indonesia sebagai negara dengan potensi pasar yang besar memiliki bahan baku untuk memproduksi material nano dan menjadikannya memiliki posisi yang diperhitungkan di dunia. Puslit Metrologi LIPI sebagai lembaga metrologi nasional memiliki peran untuk mengembangkan ketertelusuran nanometrologi di Indonesia. Makalah ini membahas mengenai pentingnya uji profisiensi pada bidang nanometrologi yang dilakukan dengan mengacu pada uji banding terdahulu oleh negara-negara yang tergabung dalam BIPM, terdiri atas berbagai jenis artefak, yaitu line width standards, step height standards, line scales, 1D gratings, 2D gratings, dan nano particle. Di Indonesia, kelompok penelitian nanometrologi dari Puslit Metrologi LIPI menyelenggarakan uji profisiensi untuk menguji validitas alat ukur nano yang digunakan di institusi penelitian. Berdasarkan hasil penelitian sebelumnya, uji profisiensi dilakukan pada alat ukur scanning electron microscope (SEM) yang paling banyak digunakan dan penjaminan ketertelusuran nanometrologi dilakukan dalam bidang dimensi. Uji profisiensi dirancang mengacu pada pengujian yang dilakukan Working Group Dimensional Metrology CCL Nano4 (WGDM CCL Nano4).
scite is a Brooklyn-based organization that helps researchers better discover and understand research articles through Smart Citations–citations that display the context of the citation and describe whether the article provides supporting or contrasting evidence. scite is used by students and researchers from around the world and is funded in part by the National Science Foundation and the National Institute on Drug Abuse of the National Institutes of Health.
hi@scite.ai
10624 S. Eastern Ave., Ste. A-614
Henderson, NV 89052, USA
Copyright © 2024 scite LLC. All rights reserved.
Made with 💙 for researchers
Part of the Research Solutions Family.