Аннотация. Статья посвящена обзору разработанных вариантов маятниковых акселерометров на основе чувствительных эле-ментов из кварца и кремния (емкостный кремниевый и компенсационный кварцевый маятники), полученных методами груп-повой объемной микрообработки. Рассмотрены особенности технологии изготовления чувствительных элементов, в частности жидкостное травление кремния и кварца. Проведен анализ конструктивно-технологических проблем, связанных с особенностя-ми материалов изготовления и процессов глубинного жидкостного анизотропного и изотропного травления. Особое внимание уделено особенностям изготовления торсионных элементов, от точности которых зависят выходные характеристики устрой-ства в целом. В программном комплексе SolidWorks Simulation проведено моделирование параметров деформации и жесткости подвижных частей маятников. Результаты моделирования показали, что с помощью варьирования геометрией торсиона можно подобрать необходимые параметры жесткости сочленения в широком диапазоне. Определены наилучшие параметры обработки материалов чувствительных элементов. Отличительная особенность разработанных технологий изготовления чувствительных элементов акселерометров двух типов -их групповой характер. Исследование образцов, проведенное на растровом электрон-ном микроскопе, позволило определить геометрические параметры торсионов чувствительных элементов, от которых главным образом зависела жесткость конструкции и, как следствие, чувствительность акселерометра. Abstract. The article presents the review of the developed variants of pendulum accelerometers based on sensitive elements made of quartz and silicon (capacitive silicon and compensation quartz pendula) obtained by means of batch volume processing. The features of the technology for producing sensitive elements, in particular liquid etching of silicon and quartz, are given. The paper shows the analysis of the design and technological problems connected with the characteristics of the materials of production and process of the deep liquid anisotropic and isotrope etching. A special attention is given to the design features of torsional elements, because, in general, the output characteristics of the device depend on the production accuracy of such elements. Simulation of the deformation parameters and stiffness of the movable parts of the pendula was carried out in the SolidWorks Simulation program complex. The simulation results showed that it is possible to choose the necessary parameters of stiffness of the joint in a wide range by changing the geometry of the torsion bar. The best parameters for materials processing of the sensitive elements were determined. A distinctive feature of the developed technologies for producing sensitive elements of two types of accelerometers is their group character. A study of the produced samples carried out on the scanning electron microscope made it possible to determine the geometric parameters of the torsion bars of the sensitive elements. The stiffness of the structure and consequently the sensitivity of the accelerom...
The paper indicates the technological features of obtaining a composite of the Ti-Al system. Investigations on the study of structural features and mechanical properties of a composite material reinforced with intermetallic elements are presented.
scite is a Brooklyn-based organization that helps researchers better discover and understand research articles through Smart Citations–citations that display the context of the citation and describe whether the article provides supporting or contrasting evidence. scite is used by students and researchers from around the world and is funded in part by the National Science Foundation and the National Institute on Drug Abuse of the National Institutes of Health.