Braunschweig Es wird ein berührend messender Sensor für die dimensioneile Erfassung kleiner Strukturen auf Koordinatenmeßgeräten vorgestellt. Durch das neuartige Meßprinzip, das eine Kombination aus taktilen und optischen Verfahren darstellt, lassen sich Antastelemente mit einem Durchmesser unter 50 μηι realisieren. Die erreichbaren Meßunsicherheiten liegen im SubMikrometer-Bereich. Erstmals wird eine erweiterte Anordnung beschrieben, die aufbauend auf dem gleichen Meßprinzip eine vollständige dreidimensionale Meßfähigkeit erreicht. Anhand von beispielhaften Meßergebnissen wird die derzeitige Leistungsfähigkeit des zweidimensionalen und des dreidimensionalen Sensors gezeigt.A tactile probing system for dimensional measurement of small structures is presented. By a new measurement principle which combines optical and mechanical techniques, probing elements below 50 μιτι can be realized. The measurement uncertainties are in the sub-micron region. For the first time a system is presented, which realizes a full 3D sensitivity on the base of the opto-tactile concept. Some exemplary measurements show the capability of the new sensor.
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