Zusammenfassung: In der vorliegenden Arbeit werden zwei Nanopositioniersysteme in Bezug auf ihre Positioniergenauigkeit während der Bewegung verglichen. Beide Systeme besitzen einen planaren Bewegungsbereich von ≥ 100 mm, werden durch Linearmotoren angetrieben und die Position wird durch Laserinterferometer gemessen. Groẞe Unterschiede existieren jedoch im mechanischen Aufbau. Das erste Positioniersystem ist ein zweiachsiger Demonstrator dessen zwei Läufer auf Wälzkörpern gelagert sind. Dies führt zu dem Problem der besonders im Nanometerbereich stark nichtlinearen Reibung. Bei dem zweiten Positioniersystem kommen Luftlager zum Einsatz und darüber hinaus handelt es sich nur um einen Läufer, welcher drei Freiheitsgrade besitzt. Es wird gezeigt, dass durch regelungstechnische Methoden der Reibkraftkompensation die Positioniergenauigkeit beider Systeme bis zu einer Geschwindigkeit von ca. 1 mm/s vergleichbar ist. Schlüsselwörter: Nanopositionierung, Reibungsmodellierung, Positioniergenauigkeit.Abstract: This work compares two fine positioning stages in relation to positioning accuracy during motion. Both systems have a working range of ≥ 100 mm, are driven by linear motors and the position is measured by laser interferometers. However the mechanical setting is quite different. The first system is a two axis fine positioning stage which is supported by ball bearing guides. This leads especially in nanometer range to problems caused by the highly nonlinear friction. In the second system air bearings are used. It can be shown, that by dint of model based control design the position accuracy is comparable until a velocity of 1 mm/s.
scite is a Brooklyn-based organization that helps researchers better discover and understand research articles through Smart Citations–citations that display the context of the citation and describe whether the article provides supporting or contrasting evidence. scite is used by students and researchers from around the world and is funded in part by the National Science Foundation and the National Institute on Drug Abuse of the National Institutes of Health.
hi@scite.ai
10624 S. Eastern Ave., Ste. A-614
Henderson, NV 89052, USA
Copyright © 2024 scite LLC. All rights reserved.
Made with 💙 for researchers
Part of the Research Solutions Family.