Абстрактные. В статье описаны полученные экспериментальные результаты для планарного акустоплазменного магнетрона. Небольшой радиус анодной петли позволяет фокусировать и ускорять ионный компонент распыленного материала. В качестве буферного газа использовали аргон. Сравниваются характеристики магнетрона в случае постоянного тока и в акустоплазменном режиме (AP) (с модулированным током, содержащим постоянные и переменные компоненты). Скорость распыления в режиме AP увеличивается. Для медного катода давление газа составляло <1 Па и плотность тока порядка 100 мА / см 2с увеличением расстояния от анода до осажденного субстрата от 2 до 4 см в случае подачи постоянного тока скорость осаждения снижается в 3,3 раза (от 17 до 5 нм / с), в акустоплазменном режиме - в 2 раза (от 13 до 6,4 нм / с). Для расстояния анода-подложки 4 см прирост скорости осаждения в режиме AP по сравнению с DC составляет 1,2-1,5 раза. Измерялись зависимости ионного и электронного токов на подложке от разных параметров разряда. Исследование основано на схеме с двумя потенциальными сетками с фиксированными и переменными потенциалами. Показана возможность формирования кольцевого пароплазменного потока быстрых частиц.
Abstract⎯We investigate dynamic parameters of acoustoplasmic discharge associated with the time variation of concentration of charge carriers. Instantaneous values of the difference in currents measured by the anode and cathode are determined depending on the frequency of modulation of the discharge current. The volt-coulomb characteristics of acoustoplasmic discharge are also measured. The observed jump of the charge at gradual variation of the voltage on the discharge tube can be considered as a phase transition in acoustoplasma.
The article describes new types of air ionizers designed in the “Acoustophysics” laboratory of the Institute of Applied Problem of Physics of the National Academy of Sciences of the Republic of Armenia. These types of ionizers are created not only for the purpose of cleaning the air in the living and industrial areas from dust, but also fight against different types of viruses, which is especially important during periods of pandemics. The justification of the efficiency of aeroionization is given. The safety of using the developed ionizers has been shown even with continuous operation for a long time. A completely new method for testing the effectiveness of the developed ionizers is also described in detail.
scite is a Brooklyn-based organization that helps researchers better discover and understand research articles through Smart Citations–citations that display the context of the citation and describe whether the article provides supporting or contrasting evidence. scite is used by students and researchers from around the world and is funded in part by the National Science Foundation and the National Institute on Drug Abuse of the National Institutes of Health.