Эмиссионные свойства Mo, Pd и Pd-Ba при имплантации ионов бария и кислорода

Abstract

Исследовано влияние ионного легирования на вторично-эмиссионные характеристики Mo, Pd и сплава Pd-Ва. Установлено, что в результате легирования ионами бария с низкой энергией в приповерхностном слое Pd образуется интерметаллическое соединение типа Pd-Ва. Образование химического соединения подложки с легирующей примесью способствует значительному (в 3 раза) росту коэффициента вторичной электронной эмиссии (ВЭЭ). Обнаружено, что образцы Pd и Pd-Ва после легирования большой дозой ионов Ва+ обладают почти одинаковыми вторично-эмиссионными параметрами. Легирование Pd-Ba сначала ионами бария, затем ионами кислорода с энергией Е0≤1 кэВ приводит к существенному увеличению коэффициента вторично-электронной эмиссии (ВЭЭ). В случае имплантации ионов Ва+ в Мо не наблюдается образования химической связи между атомами Ва и Мо. Поэтому эмиссионная эффективность в ионнолегированном слое увеличивается незначительно (1.3 раза) и увеличение максимального значения коэффициента вторичной электронной эмиссии σmax объясняется в основном уменьшением значения работы выхода eφ.